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藍寶石和碳化硅品質提升解決方案 >> 位錯腐蝕檢測解決方案 >> 藍寶石與碳化硅腐蝕方案
藍寶石晶體(0001)面和(1120)面的位錯腐蝕坑呈現(xiàn)不同的形狀是由晶體所屬的點群和晶體結構所決定的。化學腐蝕劑的作用就是破壞晶體內部分子或原子間相互作用鍵，鍵合力較小的首先被破壞。而在晶體生長過程中位錯也主要產生在相互鍵合較弱的分子或原子間。
晶體生長時如果外界條件(如生長速度的波動、熱振動、機械振動、結晶時固態(tài)-液態(tài)原子密度差異、結晶冷卻應力產生的晶格滑移等)發(fā)生變化就容易造成晶格排列錯位。
晶體缺陷是處于能量較高的不穩(wěn)定的非平衡狀態(tài)。因此在化學試劑作用下，缺陷處晶格原子首先與化學試劑發(fā)生作用，釋放出能量以達到平衡態(tài)，從而形成某種特定形狀的腐蝕圖像。
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