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解決方案 >> 藍寶石和碳化硅品質(zhì)提升解決方案

晶體表面油污檢測及處理方案

					晶片表面有油污，很難以檢測到，即便用KLA也難以判斷，這主要是有檢測原理決定的。有污染的晶片若被應(yīng)用的外延，就會嚴重影響到LED的品質(zhì)，使成品率下降。所以，如果要排除污染，就必須有一個專業(yè)的設(shè)備進行探測與判斷。

平整度檢測方案

					平整度是晶片很重要的參數(shù)，直接決定了片子合格與否，檢測平整度的方法很多，但目前看來國際還是依托于SEMI標準。參數(shù)的定義，檢測的精度都是需要認真考慮的。

藍寶石與碳化硅腐蝕方案

					腐蝕工藝直接決定了檢測位錯的結(jié)果，關(guān)鍵的一點可能會讓您少走很多的彎路，敬請關(guān)注。

藍寶石光學等級評估

					光學晶體等級一般分六級，如何進行評估，怎么評估？這不光需要專業(yè)的檢測設(shè)備，還有就是一線檢測經(jīng)驗。

碳化硅工藝流程及檢測方案

					碳化硅工藝流程及檢測方案

藍寶石整體檢測方案

					工藝流程及涉及的檢測設(shè)備

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