檢測與校驗 >> 標(biāo)片和測試片 >> 電阻率標(biāo)準(zhǔn)片
硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)片(以下簡稱標(biāo)準(zhǔn)樣片)是用高純多晶硅,經(jīng)過單晶設(shè)備,再經(jīng)中子嬗變摻雜等多種工藝制造的,具有一定幾何尺寸的實物標(biāo)準(zhǔn).由不確定度已知的標(biāo)準(zhǔn)裝置,對該實物標(biāo)準(zhǔn)的電阻率及其他指標(biāo)給予標(biāo)定,使用時以標(biāo)準(zhǔn)樣片為準(zhǔn),對相關(guān)參數(shù)進(jìn)行量值傳遞.
標(biāo)準(zhǔn)樣片的各項指標(biāo)要求：
標(biāo)準(zhǔn)樣片的表面質(zhì)量及幾何尺寸：
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